特許
J-GLOBAL ID:200903088539392689

光吸収性反射防止膜付き有機基体とその製造方法

発明者:
出願人/特許権者:
代理人 (1件): 泉名 謙治 (外1名)
公報種別:公開公報
出願番号(国際出願番号):特願平9-339097
公開番号(公開出願番号):特開平10-230558
出願日: 1997年12月09日
公開日(公表日): 1998年09月02日
要約:
【要約】【課題】耐久性に優れ、適度な可視光線吸収率を有する、安価な光吸収性反射防止膜付き有機基体とその製造方法の提供。【解決手段】表面がプラズマで処理された有機基体10上に、基体側から、ケイ素の窒化物を主成分とする密着層12、光吸収膜13、低屈折率膜15が順に形成された光吸収性反射防止膜付き有機基体とその製造方法。
請求項(抜粋):
有機基体上に、基体側から光吸収膜、低屈折率膜がこの順に形成されてなる光吸収性反射防止膜付き有機基体であって、低屈折率膜側からの入射光の反射低減能を有し、有機基体は表面がプラズマで処理された有機基体であり、プラズマ処理された基体表面と光吸収膜との間には、ケイ素、ケイ素の窒化物、ケイ素の酸化物およびケイ素の酸窒化物からなる群から選ばれる1種以上を主成分とする層が形成されていることを特徴とする光吸収性反射防止膜付き有機基体。
IPC (9件):
B32B 7/02 103 ,  B32B 9/00 ,  B32B 27/36 ,  C08J 7/00 306 ,  C23C 14/06 ,  C23C 14/10 ,  G02B 1/11 ,  G09F 9/00 318 ,  H01J 29/89
FI (10件):
B32B 7/02 103 ,  B32B 9/00 A ,  B32B 27/36 ,  C08J 7/00 306 ,  C23C 14/06 A ,  C23C 14/06 N ,  C23C 14/10 ,  G09F 9/00 318 ,  H01J 29/89 ,  G02B 1/10 A
引用特許:
審査官引用 (4件)
  • 機能性物品
    公報種別:公開公報   出願番号:特願平4-360514   出願人:旭硝子株式会社
  • 特開平3-155932
  • 特開平3-155932
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