特許

J-GLOBAL ID：200903088540812764

ワイヤーボンディング用キャピラリー

発明者： 宝来 幸生
出願人/特許権者： ソニー株式会社
公報種別：公開公報
出願番号（国際出願番号）：特願平8-238964
公開番号（公開出願番号）：特開平10-092861
出願日： 1996年09月10日
公開日（公表日）： 1998年04月10日
要約：

【要約】【課題】 ワークの傾きによるキャピラリーの片磨耗や、接着面積が不均一になることによるワイヤー付かず、ワイヤーブレイクの発生を抑え、ワイヤーの安定接着を可能とするワイヤーボンディング用キャピラリーを提供する。【解決手段】 本発明のキャピラリー10は、キャピラリー本体11に回動自在に嵌挿された自由端12aと、それに連設された先端12bから成る先端部12にて構成される。そして、ワークに傾きが生じた場合にも、ワークの傾きに応じて先端部12が回動してワークと垂直に接触する。これにより、本発明のキャピラリー10とワークとの接着面積が充分確保され、ワイヤー付かずやワイヤーブレイクなどの発生を抑制することができる。

請求項（抜粋）：

ワイヤーボンディング装置に使用されるワイヤーボンディング用キャピラリーにおいて、ワイヤーボンディング用キャピラリーまたはワイヤーボンディング用キャピラリー先端部を、これらが接触するワークと垂直に接触するように回動自在に形成することを特徴とするワイヤーボンディング用キャピラリー。

IPC (3件)：

H01L 21/60 301 ,  H01L 21/603 ,  H01L 21/607

FI (3件)：

H01L 21/60 301 G ,  H01L 21/603 C ,  H01L 21/607 C