特許
J-GLOBAL ID：200903088546194698
静電駆動振動式センサ回路
発明者：
出願人/特許権者：
代理人 (1件)：
渡辺 正康 (外1名)
公報種別：公開公報
出願番号（国際出願番号）：特願平6-151954
公開番号（公開出願番号）：特開平8-014941
出願日： 1994年07月04日
公開日（公表日）： 1996年01月19日
要約：
【要約】【目的】励振交流電圧の振幅を制御することなくセンサの出力信号の振幅制御が行える回路構成の簡単な静電駆動振動式センサ回路を実現することにある。【構成】振動子とベースの間に印加される電圧の大きさに応じて発生する静電吸引力に従って振動子を変位させる静電駆動振動式センサと、励振ループが励振可能なように静電駆動振動式センサの出力信号の位相を補正して静電駆動振動式センサに帰還する位相補正ブロックと、静電駆動振動式センサの出力信号の振幅が一定になるように静電駆動振動式センサの出力信号を整流して静電駆動振動式センサに帰還する整流帰還ブロック、とで構成されたことを特徴とするもの。
請求項（抜粋）：
振動子とベースの間に印加される電圧の大きさに応じて発生する静電吸引力に従って振動子を変位させる静電駆動振動式センサと、励振ループが励振可能なように静電駆動振動式センサの出力信号の位相を補正して静電駆動振動式センサに帰還する位相補正ブロックと、静電駆動振動式センサの出力信号の振幅が一定になるように静電駆動振動式センサの出力信号を整流して静電駆動振動式センサに帰還する整流帰還ブロック、とで構成されたことを特徴とする静電駆動振動式センサ回路。
IPC (3件)：
G01D 5/243
, G01L 1/10
, G01P 15/08
