感光性エレメントおよび回路の製造法

発明者： ,
出願人/特許権者：
代理人 (1件)：若林邦彦
公報種別：公開公報
出願番号（国際出願番号）：特願平3-107244
公開番号（公開出願番号）：特開平5-027423
出願日： 1991年05月13日
公開日（公表日）： 1993年02月05日
要約：

【要約】【目的】レーザビームで走査露光を行っても、高感度が得られ、かつレーザビーム走査方向に対するライン幅の依存性の少ない感光性エレメントおよびこれを用いた回路の製造法を提供する。【構成】実質的に光源光を透過するカバーフィルムと、光重合性の感光性樹脂層とを有する感光性エレメントにおいて、カバーフィルムとしてポリエチレンナフタレートフィルムを用いた感光性エレメントおよびこれを基体上に積層し、カバーフィルム側からレーザビームによる走査露光を行った後、現像処理、エッチングまたはめっき処理を施す回路の製造法。

請求項（抜粋）：

実質的に光源光を透過するカバーフィルムと、光重合性の感光性樹脂層とを有する感光性エレメントにおいて、カバーフィルムとしてポリエチレンナフタレートフィルムを用いた感光性エレメント。

IPC (4件)：

G03F 7/004 512 , G03F 7/027 , G03F 7/11 501 , H05K 3/06

引用特許：

審査官引用 (4件)

特開平4-129732
特開昭62-288826
特開昭62-198190

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