特許
J-GLOBAL ID：200903088560873590
異物検査装置
発明者：
出願人/特許権者：
公報種別：公開公報
出願番号（国際出願番号）：特願平5-033801
公開番号（公開出願番号）：特開平6-249788
出願日： 1993年02月24日
公開日（公表日）： 1994年09月09日
要約：
【要約】【目的】検出感度の幅が広い異物検査装置を提供すること。【構成】光ビームを供給する光源手段(10)と、光源手段からの光ビームを被検査面(R)上に照射する照射光学系(14)と、照射された光ビームにより被検査面から発する光を受けて光電変換信号を出力する光検出手段(20〜23、30〜33)とを有する異物検査装置は、被検査面上に照射される光ビームの強度を変化させる光量可変手段(11)を有する。
請求項（抜粋）：
光ビームを供給する光源手段と、該光源手段からの光ビームを被検査面上に照射する照射光学系と、前記照射された光ビームによって前記被検査面から発生する光を受けて光電変換信号を出力する光検出手段とを有する異物検査装置において、前記被検査面上に照射される前記光ビームの強度を変化させる光量可変手段を有することを特徴とする異物検査装置。
引用特許：
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