ラミナーグレーテイングの製造方法

発明者：
出願人/特許権者：
代理人 (1件)：加藤邦彦 (外1名)
公報種別：公開公報
出願番号（国際出願番号）：特願平3-203973
公開番号（公開出願番号）：特開平5-027108
出願日： 1991年07月18日
公開日（公表日）： 1993年02月05日
要約：

【要約】【目的】きわめて短い山、谷のピッチを有するラミナーグレーティングを作ること。【構成】ベースプレート22にレジスト24をコーティングし、所定ピッチでライン・アンド・スペースのパターン28が形成されたX線マスク26をレジスト24に対向させてSOR光29で露光する。これを現像すると、ライン・アンド・スペースのパターンが転写されたレジストパターン24aができあがる。これにAu,Pt等を電気メッキして、鋳型30を作る。その後、ベースプレート22とレジスト24を除去することにより、ラミナーグレーティング1が得られる。

請求項（抜粋）：

ベースプレートにレジストをコーティングし、このベースプレートの前方にライン・アンド・スペースのパターンが所定ピッチで描かれたマスクを配置してSOR光をこのマスクに照射して前記ライン・アンド・スペースのパターンを前記レジストに転写し、この転写後上記レジストを現像し、この現像により残されたレジストパターンに金属を電気メッキして鋳型を作り、その後前記レジストとベースプレートを除去して前記鋳型を取り出してこれをラミナーグレーティングとすることを特徴とするラミナーグレーティングの製造方法。

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