特許
J-GLOBAL ID：200903088565202847
マスフローコントローラ流量検定システム
発明者：
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出願人/特許権者：
代理人 (1件)：
富澤 孝 (外2名)
公報種別：公開公報
出願番号（国際出願番号）：特願平10-025508
公開番号（公開出願番号）：特開平11-223538
出願日： 1998年02月06日
公開日（公表日）： 1999年08月17日
要約：
【要約】【課題】 マスフローコントローラの流量測定精度を向上させたマスフローコントローラ流量検定システムを提供すること。【解決手段】 本発明のマスフローコントローラ流量検定システムは、プロセスガスを供給する複数のプロセスガスライン1A〜1Cと、そのプロセスガスラインに分岐接続された計測ガスライン11とを有し、計測ガスライン11の共通部分には、第1圧力調整器14と、計測開始用遮断弁15と、圧力センサ16と、第2圧力調整器21とが順次配管され、計測ガスライン11の各分岐部分12A〜12Cには、連結部遮断弁118A〜18Cとが順次配管されたものであって、計測開始用遮断弁15と第2圧力調整器21との間の圧力降下を圧力センサ16によって測定することでマスフローコントローラ2A〜2Cの流量検定を行う。
請求項（抜粋）：
プロセスガス遮断弁とマスフローコントローラとを順次経由してプロセスガス源からのプロセスガスをプロセスチャンバに供給する複数のプロセスガスラインと、計測ガス供給源からのプロセスガスを前記各マスフローコントローラを経由して排出すべく、前記プロセスガスラインに分岐接続された計測ガスラインとを有し、前記計測ガスラインの共通部分には、第1圧力調整器と、計測開始用遮断弁と、圧力センサと、第2圧力調整器とが順次配管され、前記計測ガスラインの各分岐部分には、前記プロセスガスラインと計測ガスライン間の遮断を行う連結部遮断弁とが順次配管されたものであって、前記計測開始用遮断弁と第2圧力調整器との間の圧力降下を前記圧力センサによって測定することでマスフローコントローラの流量検定を行うことを特徴とするマスフローコントローラ流量検定システム。
IPC (2件)：
FI (2件)：
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