特許
J-GLOBAL ID：200903088568580249
光透過性多層構造体の厚さ測定方法およびこれを用いた光透過性多層構造体の製造装置
発明者：
,
出願人/特許権者：
代理人 (1件)：
松隈 秀盛
公報種別：公開公報
出願番号（国際出願番号）：特願平7-040731
公開番号（公開出願番号）：特開平8-233540
出願日： 1995年02月28日
公開日（公表日）： 1996年09月13日
要約：
【要約】【目的】 多層構造体の各構成材料層の厚さを成膜状態のままで、リアルタイム測定できるようにする。【構成】 それぞれ所定の光に対して光透過性を有し、かつこの所定の光に対して異なる光透過率係数を有する複数の構成材料層が積層された光透過性多層構造体の各構成材料層の測定方法において、各構成材料の光透過率係数の測定作業と、複数の構成材料層が積層された光透過性多層構造体全体の厚さの測定作業と、各測定作業によって測定した光透過率係数と、光透過性多層構造体全体の厚さとによって各構成材料層の厚さを演算する作業とを行う。
請求項（抜粋）：
所定の光に対してそれぞれ光透過性を有し、かつ該所定の光に対して異なる光透過率係数を有する複数の構成材料層が積層された光透過性多層構造体の各構成材料層の測定方法において、上記各構成材料の光透過率係数の測定作業と、上記複数の構成材料層が積層された光透過性多層構造体全体の厚さの測定作業と、上記各測定作業によって測定した光透過率係数と、上記光透過性多層構造体全体の厚さとによって上記各構成材料層の厚さを演算する作業とを有することを特徴とする光透過性多層構造体の厚さ測定方法。
IPC (2件)：
G01B 11/06 101
, G11B 5/84
G01B 11/06 101
, G11B 5/84 C
