特許
J-GLOBAL ID：200903088571662647
検査対象物の組成画像をリアルタイムで提供する方法
発明者：
出願人/特許権者：
代理人 (1件)：
三俣 弘文
公報種別：公開公報
出願番号（国際出願番号）：特願平10-057176
公開番号（公開出願番号）：特開平11-108845
出願日： 1998年03月09日
公開日（公表日）： 1999年04月23日
要約：
【要約】【課題】 検査対象物に関する深さ方向の解像度および構成組成上の情報を与えるようなテラヘルツ画像処理の装置と方法を提供する。【解決手段】 本発明は、テラヘルツ周波数範囲の電磁放射のパルスを含む波形で検査対象物を照射するステップと、検査対象物内の不連続の部分を決定するために検査対象物により反射されたパルスの関連遅延時間を測定するステップとからなることを特徴とする検査対象物の組成画像をリアルタイムで提供する方法。前記電磁放射のパルスは、約10-10,000フェムト秒の範囲の持続時間を有するパルスを含む。
請求項（抜粋）：
(a)テラヘルツ周波数範囲の電磁放射のパルスを含む波形で検査対象物を照射するステップと、(b)検査対象物内の不連続の部分を決定するために検査対象物により反射されたパルスの関連遅延時間を測定するステップとからなることを特徴とする検査対象物の組成画像をリアルタイムで提供する方法。
IPC (2件)：
FI (2件)：
G01N 21/84 Z
, G01N 21/35 Z
