特許

J-GLOBAL ID：200903088585679836

炭化珪素質部材の製造方法

発明者： 浜谷 典明 ,  山田 修 ,  吉田 明彦 ,  小林 博文 ,  松本 福二
出願人/特許権者： 信越化学工業株式会社
代理人 (1件)： 小島 隆司
公報種別：公開公報
出願番号（国際出願番号）：特願平3-186923
公開番号（公開出願番号）：特開平5-017229
出願日： 1991年07月01日
公開日（公表日）： 1993年01月26日
要約：

【要約】【目的】 半導体の熱処理用として好適に使用し得る表面における純度が極めて高い炭化珪素質部材を得る。【構成】 炭化珪素質焼結体表面にSiO2粉末砥粒を用いてブラスト加工処理を施した後、この炭化珪素質焼結体を洗浄処理することを特徴とする炭化珪素質部材の製造方法。

請求項（抜粋）：

炭化珪素質焼結体表面にSiO2粉末砥粒を用いてブラスト加工処理を施した後、この炭化珪素質焼結体を弗酸により洗浄処理することを特徴とする炭化珪素質部材の製造方法。