特許
J-GLOBAL ID：200903088589367456
受光素子検査装置
発明者：
出願人/特許権者：
代理人 (1件)：
京本 直樹 (外2名)
公報種別：公開公報
出願番号（国際出願番号）：特願平7-193552
公開番号（公開出願番号）：特開平9-045744
出願日： 1995年07月28日
公開日（公表日）： 1997年02月14日
要約：
【要約】【課題】半導体ウェーハ状態の任意のペレットの受光素子の受光特性をより簡単及び正確に測定することができる。【解決手段】本発明の受光素子検査装置は、外来光を遮断するために暗箱を用い、また半導体ウェーハ内の1ペレットの受光面に一様な出力の光を照射するために波長選択機能を有する安定化光源を用いる。さらに1ペレットの受光部の形状及び寸法に対し光透過開閉窓を任意に変更できる液晶マスクと電気的特性測定用プローブカードを備え、それらをコントロールする主制御系にて構成されている。
請求項（抜粋）：
暗箱内に、光源と、半導体ウェーハを設置するステージと、半導体ウェーハ上の受光素子を形成した任意の1ペレットのみの受光特性を測定するために、光の照射領域を自由に変更できる液晶マスクとを有することを特徴とする受光素子検査装置。
IPC (3件)：
H01L 21/66
, G02F 1/13 505
, H01L 31/04
H01L 21/66 X
, G02F 1/13 505
, H01L 31/04 K
