特許

J-GLOBAL ID：200903088591154800

熱処理装置

発明者： 大加瀬 亘
出願人/特許権者： 東京エレクトロン相模株式会社
代理人 (1件)： 大井 正彦
公報種別：公開公報
出願番号（国際出願番号）：特願平3-307197
公開番号（公開出願番号）：特開平5-121341
出願日： 1991年10月28日
公開日（公表日）： 1993年05月18日
要約：

【要約】【目的】 面状の被処理体の移動速度の制御系の構成を簡単としながら、面状の被処理体の全面を均一な温度で急速に熱処理することができる熱処理装置を提供することにある。【構成】 処理容器内に配置された面状の被処理体の処理面に対向するよう面状発熱源を配置してなる熱処理装置において、前記処理容器の出入口に近い外周面に補助ヒーターを設けたことを特徴とする。

請求項（抜粋）：

処理容器内に配置された面状の被処理体の処理面に対向するよう面状発熱源を配置してなる熱処理装置において、前記処理容器の出入口に近い外周面に補助ヒーターを設けたことを特徴とする熱処理装置。

IPC (3件)：

H01L 21/22 ,  H01L 21/31 ,  H01L 21/324

引用特許：

審査官引用 (2件)

• 特開昭62-293622
  
• 特開昭63-232422