ニオブ酸カリウム単結晶薄膜の製造方法、表面弾性波素子、周波数フィルタ、周波数発振器、電子回路、および電子機器

発明者： , ,
出願人/特許権者：
代理人 (3件)：上柳雅誉 , 藤綱英吉 , 須澤修
公報種別：公開公報
出願番号（国際出願番号）：特願2003-013608
公開番号（公開出願番号）：特開2004-224627
出願日： 2003年01月22日
公開日（公表日）： 2004年08月12日
要約：

【課題】電気機械結合係数に優れたニオブ酸カリウムを薄膜として作製する場合、Nbに比べてKの飽和蒸気圧が著しく高いためにKが蒸発しやすく、作製した薄膜の組成が出発組成と比べてNb過剰側にずれてしまい、電気機械結合係数に劣るという課題があった。【解決手段】ニオブ酸カリウムと3K2O・Nb2O5の共晶温度以上に保持した基板に、K2O:Nb2O5=50:50からK2O:Nb2O5=65:35までの組成の原料を高堆積速度で堆積し、液相中から組成ずれのない単結晶状のニオブ酸カリウム薄膜を成長させることにより、電気機械結合係数の大きな表面弾性波素子を実現し、周波数フィルタ、周波数発振器の小型化、電子回路および電子機器の省電力化を実現する。【選択図】図11

請求項（抜粋）：

気相法によるニオブ酸カリウム(KNbO3)薄膜の製造工程において、基板を所定の酸素分圧下でKNbO3と3K2O・Nb2O5との共晶温度以上完全溶融温度以下、すなわちKNbO3と液相とが共存する温度領域に保持し、気相原料を基板上に固液共存状態で堆積し、液相中からKNbO3を固相として析出させることによりKNbO3薄膜を成長させることを特徴とするニオブ酸カリウム単結晶薄膜の製造方法。

IPC (6件)：

C30B29/30 , H01L41/09 , H01L41/18 , H01L41/24 , H03B5/30 , H03H9/25

FI (6件)：

C30B29/30 A , H03B5/30 A , H03H9/25 C , H01L41/22 A , H01L41/18 101A , H01L41/08 U

Fターム (33件)：

4G077AA03 , 4G077BC31 , 4G077CD10 , 4G077DA11 , 4G077EA02 , 4G077EC07 , 4G077ED05 , 4G077ED06 , 4G077EF03 , 4G077FJ01 , 4G077HA11 , 4G077SA04 , 4G077SA07 , 4G077SB01 , 5J079AA06 , 5J079AA11 , 5J079BA31 , 5J079BA41 , 5J079BA44 , 5J079FA01 , 5J079HA06 , 5J079HA22 , 5J079JA01 , 5J079KA05 , 5J097AA36 , 5J097BB01 , 5J097DD28 , 5J097DD29 , 5J097FF02 , 5J097GG01 , 5J097KK01 , 5J097KK09 , 5J097KK10

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