特許
J-GLOBAL ID:200903088596577660
磁気記録媒体用スタンパーの製造方法および磁気記録媒体用スタンパーの製造装置
発明者:
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出願人/特許権者:
代理人 (1件):
酒井 伸司
公報種別:公開公報
出願番号(国際出願番号):特願2003-198201
公開番号(公開出願番号):特開2005-038477
出願日: 2003年07月17日
公開日(公表日): 2005年02月10日
要約:
【課題】高アスペクト比の凹部を有する磁気記録媒体用スタンパーを容易に製造し得る磁気記録媒体用スタンパーの製造方法を提供する。【解決手段】支持用の基材Bの上に形成したレジスト層Rに凹凸パターンを形成し、凹凸パターンを覆うようにして導電膜2を形成した後にめっき処理によって導電膜2の上に金属膜3を形成し、基材Bから導電膜2と金属膜3との積層体を剥離することにより、ディスクリートトラック型の磁気記録媒体を製造するための磁気記録媒体用スタンパーを製造する。【選択図】 図8
請求項(抜粋):
支持基材の上に形成した樹脂層に凹凸パターンを形成し、当該凹凸パターンを覆うようにして導電膜を形成した後にめっき処理によって当該導電膜の上に金属膜を形成し、前記支持基材から前記導電膜と前記金属膜との積層体を剥離することにより、ディスクリートトラック型の磁気記録媒体を製造するための磁気記録媒体用スタンパーを製造する磁気記録媒体用スタンパーの製造方法。
IPC (1件):
FI (1件):
Fターム (1件):
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