特許
J-GLOBAL ID：200903088601402890
ワーク浮上用構造体
発明者：
出願人/特許権者：
代理人 (1件)：
景山 憲二
公報種別：公開公報
出願番号（国際出願番号）：特願平10-188268
公開番号（公開出願番号）：特開2000-007151
出願日： 1998年06月17日
公開日（公表日）： 2000年01月11日
要約：
【要約】【課題】 ワークを浮上させる浮上搬送プレートを軽量化する。【解決手段】 浮上搬送プレートは、多数の送気孔11を備えた上板12を有する箱状体1をリブ13で補強し、薄板板金構造にする。ワーク搬送用として、傾斜ノズル2及びガイド部3を設ける。リブ13に“ならいガイド”の機能を持たせることで上板の形状、精度をコントロールする。【効果】 簡単な構造で軽量化とコスト低減を図ることができる。リブの加工精度によって搬送面12aを形成する上板12の平面度を精度良く得られると共に、任意の上板の形状にも応用できる。上板12が薄いので孔明け加工が容易で、孔から真上に空気を吹き出せる。
請求項（抜粋）：
浮上面から吹き出される気体で平板状のワークを浮上させるワーク浮上用構造体において、前記気体が吹き出される複数の穴の明けられた薄板状の上板で前記浮上面を形成し前記気体が導入されて内圧を受ける箱状体と、前記浮上面の形状を形成するように加工され前記上板に接合される端面を備え前記内圧を受けたときに前記上板の変形が制限されるように前記上板を補強する補強板と、を有することを特徴とするワーク浮上用構造体。
IPC (4件)：
B65G 51/03
, B65G 49/07
, B65G 49/08
, H01L 21/68
B65G 51/03 A
, B65G 49/07 K
, B65G 49/08
, H01L 21/68 A
5F031AA10
, 5F031CC52
, 5F031CC53
, 5F031CC54
, 5F031LL01
