特許
J-GLOBAL ID：200903088612430586
電子放出素子及びその製造方法
発明者：
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出願人/特許権者：
代理人 (1件)：
山本 秀策
公報種別：公開公報
出願番号（国際出願番号）：特願平11-012530
公開番号（公開出願番号）：特開2000-215786
出願日： 1999年01月20日
公開日（公表日）： 2000年08月04日
要約：
【要約】【課題】 安定に且つ効率的に電子を放出することができ、取り扱いが容易な電子放出物質を使用して構成された電子放出部(エミッタ部)を含む電子放出素子、及び上記のような電子放出素子の製造方法を提供する。【解決手段】 電子放出素子が、カソード電極と、該カソード電極に接して配置された電子放出部と、該電子放出部の近傍に設置された引き出し電極と、該電カソード電極に対向するように配置されたアノード電極と、を少なくとも備え、該電子放出部は、易電子放出物質と、該易電子放出物質の周囲の少なくとも一部を被覆するように設けられた絶縁物と、を備えている。このような電子放出素子の製造方法が、少なくとも、該易電子放出物質が露出している該電子放出部の電子放出側表面を、導電性薄膜で被覆する第1の工程と、該易電子放出物質と該導電性薄膜との間に所定の電圧を印加して、該導電性薄膜の内で少なくとも該易電子放出物質と接触している部分を除去して開口部を形成し、これによって、該導電性薄膜を該引き出し電極に構成する第2の工程と、を包含する。
請求項（抜粋）：
カソード電極と、該カソード電極に接して配置された電子放出部と、該電子放出部の近傍に設置された引き出し電極と、該電カソード電極に対向するように配置されたアノード電極と、を少なくとも備えており、該電子放出部は、易電子放出物質と、該易電子放出物質の周囲の少なくとも一部を被覆するように設けられた絶縁物と、を備えている、電子放出素子。
IPC (3件)：
H01J 1/304
, H01J 1/30
, H01J 9/02
H01J 1/30 F
, H01J 1/30 A
, H01J 9/02 B
