特許

J-GLOBAL ID：200903088615388424

プラズマ発生装置及びプラズマ発生方法

発明者： 山中 通成 ,  玉置 徳彦 ,  久保田 正文
出願人/特許権者： 松下電器産業株式会社
代理人 (1件)： 小鍜治 明 (外2名)
公報種別：公開公報
出願番号（国際出願番号）：特願平4-070758
公開番号（公開出願番号）：特開平5-275194
出願日： 1992年03月27日
公開日（公表日）： 1993年10月22日
要約：

【要約】【目的】 本発明は、変調波電力により数ミリ秒の間で様々なプラズマ状態を作り出すことができる。これによって、ドライエッチングを、圧力、ガス組成の制御なく容易に行うことができる。【構成】 チャンバー1内にはエッチングガスがマスフローコントローラ(図示せず)を介して導入口から導かれチャンバー内圧力はターボポンプにより5Paから100Pa程度に制御されている。そして、チャンバー1のアノード電極3に対向した試料台となるカソード電極4にAM波またはFM波の変調電力を電源4から印加し、変調波を印加してプラズマ発生を行う。【効果】 変調波電力を用いることにより、ガス組成、圧力を制御せずに、AM変調波ではパワーを、FM変調波では周波数を変化させることにより様々な状態のプラズマを秒単位以下の時間で発生させることが出来る。これをドライエッチングに適用すると、ガス組成、圧力を制御せずに、所望のパターンにエッチングすることができる。

請求項（抜粋）：

変調波発生用電源を対向電極の少なくとも一方に配置し、前記電源にて時間的に変化させるプラズマを発生させることを特徴とするプラズマ発生装置。

IPC (5件)：

H05H 1/46 ,  C23C 14/40 ,  C30B 25/16 ,  H01L 21/302 ,  H01L 21/31