光変調器

発明者：
出願人/特許権者：
代理人 (1件)：石井康夫
公報種別：公開公報
出願番号（国際出願番号）：特願平4-100453
公開番号（公開出願番号）：特開平5-273504
出願日： 1992年03月26日
公開日（公表日）： 1993年10月22日
要約：

【要約】【目的】従来のバルク型光変調器に比べて大幅な小型軽量化を図り、駆動電力が小さく、高速変調が可能であり、集積化に適した光変調器を提供する。【構成】受光窓14からの入射光1は、多重量子井戸層(MQW層)7を通り、半導体多層膜反射鏡10で反射されて、再び多重量子井戸層(MQW層)7を通り受光窓14より出射する。p側電極3とn側電極8に変調電気信号を加えると、吸収スペクトルのピークがシフトすることによって、光に対する吸収係数が変化し、出射光2が変調される。

請求項（抜粋）：

半絶縁性半導体基板上に、下層に半導体多層膜反射鏡、中層にバッファ層、その上に多重量子井戸層、上層にキャップ層を形成したエピタキシャル構造を有することを特徴とする光変調器。

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