自己増幅偏向走査光学系

発明者： , , ,
出願人/特許権者：
代理人 (1件)：鈴木喜三郎 (外1名)
公報種別：公開公報
出願番号（国際出願番号）：特願平7-322655
公開番号（公開出願番号）：特開平9-159963
出願日： 1995年12月12日
公開日（公表日）： 1997年06月20日
要約：

【要約】【課題】 2組の伝達光学系を用いてビームを回転多面鏡に3度入射させ、ビームの偏向角を増幅させる自己増幅伝達光学系において、光学系の高速化、高解像度化、高精度化、低価格化を図る。【解決手段】回転多面鏡により2度めに偏向されるビームの偏向角は1度めに偏向されるビームの偏向角以下となるように第1の伝達光学系を構成する。あるいは回転多面鏡により2度めに偏向されるビームが平行ビームまたは集束ビームとなるよう第1の伝達光学系を構成する。【効果】第2の伝達光学系の開口数と第2の伝達光学系へ入射するビーム径が小さくなり、第2の伝達光学系の収差補正が良好となり、レンズも小さくなる。

請求項（抜粋）：

回転運動によりビームを偏向する反射面を複数有する回転多面鏡と、前記回転多面鏡の前記反射面で1度めに偏向されたビームを前記回転多面鏡に導く第1の伝達光学系と、前記第1の伝達光学系を射出し前記回転多面鏡により2度めに偏向されたビームを前記回転多面鏡に導く第2の伝達光学系を配し、前記回転多面鏡の回転により1度めに偏向されるビームの偏向角よりも前記第2の伝達光学系を射出し3度めに偏向されるビームの偏向角の方が大きくなるように前記第1の伝達光学系および前記第2の伝達光学系を構成した自己増幅偏向走査光学系であって、前記回転多面鏡の回転により2度めに偏向されるビームの偏向角は1度めに偏向されるビームの偏向角以下であることを特徴とする自己増幅偏向走査光学系。

IPC (3件)：

G02B 26/10 102 , G02B 26/10 , H04N 1/113

FI (3件)：

G02B 26/10 102 , G02B 26/10 D , H04N 1/04 104 A

引用特許：

出願人引用 (3件)

ポリゴンスキャナ
公報種別：公開公報出願番号：特願平4-164736 出願人：オリンパス光学工業株式会社
特開昭48-087850
特開昭51-032340

審査官引用 (3件)

ポリゴンスキャナ
公報種別：公開公報出願番号：特願平4-164736 出願人：オリンパス光学工業株式会社
特開昭48-087850
特開昭51-032340

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