特許

J-GLOBAL ID：200903088635009438

プローブ装置

発明者： 杉山 達雄 ,  伊藤 賢一
出願人/特許権者： 三菱マテリアル株式会社
代理人 (1件)： 志賀 正武 (外6名)
公報種別：公開公報
出願番号（国際出願番号）：特願2001-127743
公開番号（公開出願番号）：特開2002-323538
出願日： 2001年04月25日
公開日（公表日）： 2002年11月08日
要約：

【要約】【課題】 プローブ装置を構成する部品の作り置きを可能にする。【解決手段】 プローブ装置30は、中央に貫通窓41を有するプリント基板40と、中央に貫通窓51を有し前記プリント基板40の上に固定されるトップクランプ50と、このトップクランプ50の上に固定されるマウンティングベースクランプ60と、前記プリント基板40の貫通窓41および前記トップクランプ50の貫通窓51の内側に配置されて前記マウンティングベースクランプ60の底面63に固定される複数のマウンティングベース70と、前記各マウンティングベース70の底面75に添設され前記プリント基板40に電気的に接続される複数のコンタクトピン2aを有するコンタクトプローブ1と、を備える。

請求項（抜粋）：

中央に貫通窓を有するプリント基板と、中央に貫通窓を有し前記プリント基板の上に固定されるトップクランプと、このトップクランプの上に固定されるマウンティングベースクランプと、前記プリント基板の貫通窓および前記トップクランプの貫通窓の内側に配置されて前記マウンティングベースクランプの底面に固定される複数のマウンティングベースと、前記各マウンティングベースの底面に添設され前記プリント基板に電気的に接続される複数のコンタクトピンを有するコンタクトプローブと、を備えることを特徴とするプローブ装置。

IPC (2件)：

G01R 31/28 ,  G01R 1/06

FI (2件)：

G01R 1/06 E ,  G01R 31/28 K

Fターム (11件)：

2G011AA02 ,  2G011AA17 ,  2G011AE03 ,  2G011AF06 ,  2G132AA01 ,  2G132AF01 ,  2G132AF05 ,  2G132AF06 ,  2G132AL03 ,  2G132AL09 ,  2G132AL13