特許
J-GLOBAL ID：200903088640509732
容量式湿度センサ
発明者：
出願人/特許権者：
代理人 (1件)：
伊藤 洋二 (外2名)
公報種別：公開公報
出願番号（国際出願番号）：特願2001-215655
公開番号（公開出願番号）：特開2003-028824
出願日： 2001年07月16日
公開日（公表日）： 2003年01月29日
要約：
【要約】【課題】 湿度変化に伴う2個の検出用電極間の容量変化を、SC回路にて電圧信号に変換して検出するようにした容量型湿度センサにおいて、センサ体格の小型化が可能な構成を実現しつつ、2個の検出用電極を外部環境にさらすことなく、電極の信頼性を確保する。【解決手段】 半導体基板10の表面上にシリコン酸化膜20を形成し、このシリコン酸化膜20上にて離間して対向するように2個の検出用電極31、32を形成し、これら2個の検出用電極上をシリコン窒化膜40を介して感湿膜50で覆う。半導体基板10には、2個の検出用電極31、32間の容量値の変化を電圧信号に変換して出力するためのスイッチドキャパシタ回路(SC回路)が集積化されており、SC回路の参照容量部250および帰還容量部260が、一方の検出用電極32の下部に設けられている。
請求項（抜粋）：
半導体基板(10)と、この半導体基板の表面に形成された回路素子部(200)と、前記半導体基板の表面上に形成され離間して対向する2個の検出用電極(31、32)と、前記半導体基板の表面上に形成されて前記2個の検出用電極間に介在し、湿度に応じて容量値が変化する感湿膜(50)とを備え、周囲の湿度の変化に応じて前記2個の検出用電極間の容量値(Cx)が変化するようになっており、前記回路素子部は、前記2個の検出用電極間の容量値の変化を電圧信号に変換して出力するための参照容量部(250)および帰還容量部(260)を有するスイッチドキャパシタ回路を構成しており、前記参照容量部および前記帰還容量部の少なくとも一方が、前記検出用電極の下部に設けられていることを特徴とする容量式湿度センサ。
Fターム (9件)：
2G060AA01
, 2G060AB02
, 2G060AF10
, 2G060AG08
, 2G060AG10
, 2G060BA07
, 2G060BB10
, 2G060HC10
, 2G060HE10
