特許
J-GLOBAL ID：200903088642431560
塩化第二鉄エッチング液のコントロール方法
発明者：
出願人/特許権者：
代理人 (1件)：
平田 忠雄
公報種別：公開公報
出願番号（国際出願番号）：特願平9-095705
公開番号（公開出願番号）：特開平10-280171
出願日： 1997年04月14日
公開日（公表日）： 1998年10月20日
要約：
【要約】【課題】エッチング液のpHが-0.5以下の場合は、レジスト界面に隙間腐食が発生し、エッチング端面の直線性が低下し、エッチング面が荒れる。また、pHが-0.2以上の場合は、エッチング液中にスラッジ(汚泥)が生成され、エッチング速度が変動し、エッチングにむらが発生する。【解決手段】エッチング液のpHを測定し、pHが-0.5〜-0.2の範囲から外れたとき硝酸を注入してpHを-0.5〜-0.2の範囲に保持するように調整する。
請求項（抜粋）：
塩化第二鉄エッチング液に酸化性の酸性液を添加して、前記塩化第二鉄エッチング液のpHを調整するエッチング液のコントロール方法において、前記塩化第二鉄エッチング液のpHを測定し、前記pHが所定の範囲をはずれたとき、前記塩化第二鉄エッチング液に前記酸性液を注入して前記pHを前記所定の範囲に保持するように調整することを特徴とするエッチング液のコントロール方法。
IPC (2件)：
FI (2件)：
C23F 1/46
, H01L 21/308 F
