特許

J-GLOBAL ID：200903088643517485

石英系ガラス導波路及びその製造方法

発明者： 岡野 広明 ,  上塚 尚登 ,  鴨志田 敏和 ,  武藤 康晴 ,  徳永 利秀
出願人/特許権者： 日立電線株式会社
代理人 (1件)： 松本 孝
公報種別：公開公報
出願番号（国際出願番号）：特願平6-115277
公開番号（公開出願番号）：特開平7-318734
出願日： 1994年05月27日
公開日（公表日）： 1995年12月08日
要約：

【要約】【目的】石英ガラス基板及びコア導波路とクラッド層との界面に、コア導波路よりも屈折率が高い高P2 O5 濃度異常ガラス層が形成されておらず、偏光依存性損失が極めて小さい石英系ガラス導波路及びその製造方法を提供すること。【構成】石英ガラス基板1の上にコア導波路3を形成した後、火炎堆積法によりSiO2 にB2 O3 を添加しP2 O5 を含まない多孔質ガラス層4aを250〜350μm程度堆積させ、続いて多孔質ガラス層4aの上に火炎堆積法によりSiO2 にB2 O3 及びP2 O5 を添加した多孔質ガラス層4bを10〜50μm堆積させる。その後、これを電気炉内に移し、Heガス雰囲気中で1330°Cに加熱焼結して透明ガラス化し、SiO2 -B2 O3 -P2 O5 系ガラスで構成されたクラッド層5及びP2 O5 が偏在した薄膜ガラス層6を形成する。

請求項（抜粋）：

基板上に屈折率増加用ドーパントを添加した石英系ガラスからなる屈折率n<SB>1</SB>のコア導波路が形成され、該コア導波路を覆うように前記基板上にP<SB>2 </SB>O<SB>5 </SB>及び屈折率低下用ドーパントを添加した石英系ガラスからなる屈折率n<SB>0 </SB>のクラッド層が形成されている石英系ガラス導波路において、前記基板及び前記コア導波路と前記クラッド層との界面にn<SB>0 </SB>≦n<SB>2 </SB><n<SB>1 </SB>の関係を満たす屈折率n<SB>2 </SB>の薄膜ガラス層を有することを特徴とする石英系ガラス導波路。

引用特許：

審査官引用 (2件)

• ガラス導波路の製造法
  公報種別：公開公報   出願番号：特願平4-033308   出願人：日立電線株式会社
• 特開昭63-124006