特許
J-GLOBAL ID：200903088645015886
微細セラミックス構造体の形成方法
発明者：
出願人/特許権者：
代理人 (1件)：
深見 久郎 (外3名)
公報種別：公開公報
出願番号（国際出願番号）：特願平6-232825
公開番号（公開出願番号）：特開平8-097483
出願日： 1994年09月28日
公開日（公表日）： 1996年04月12日
要約：
【要約】【目的】 幅が微細なパターンで、かつ、アスペクト比の高い柱状の形状を有する微細セラミックス構造体を形成する方法を提供する。【構成】 樹脂型にセラミックススラリーを充填して固化させた後、樹脂型を除去することにより微細セラミックス構造体を形成する方法であって、樹脂型を除去する際、大気中での熱分解以外の方法を用いることを特徴とする。
請求項（抜粋）：
樹脂型にセラミックススラリーを充填して固化させた後、前記樹脂型を除去することにより微細セラミックス構造体を形成する方法であって、前記樹脂型を除去する際、真空中で加熱することを特徴とする、微細セラミックス構造体の形成方法。
IPC (2件)：
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