特許
J-GLOBAL ID：200903088653197608
反射屈折縮小投影光学系
発明者：
,
出願人/特許権者：
代理人 (1件)：
大森 聡
公報種別：公開公報
出願番号（国際出願番号）：特願平3-276594
公開番号（公開出願番号）：特開平5-088089
出願日： 1991年09月28日
公開日（公表日）： 1993年04月09日
要約：
【要約】【目的】 反射屈折系で軸上の光束を用いる構成であって、解像力が劣化しないと共に絞りを配置できるようにする。【構成】 負屈折力を持ちレチクル1からの光束を拡散する第1レンズ群G1 と、この第1レンズ群G1 からの光束を透過又は反射するハーフミラー2と、負の屈折力を持ちそのハーフミラー2から反射された光束を広げる第2レンズ群G2と、この第2レンズ群G2 からの光束を集束しつつこの第2レンズ群G2 を介してそのハーフミラー2に戻す凹面反射鏡4と、正の屈折力を持ちそのハーフミラー2に戻されてそのハーフミラー2を透過した光束をウェハ5上に集束する第3レンズ群G3 と、そのハーフミラー2とそのウェハ5との間に配置された絞り6とを有する。
請求項（抜粋）：
第1面のパターンを第2面上に縮小投影するための光学系であって、負又は正の屈折力を持ち前記第1面からの光束を拡散又は集束する第1レンズ群と、該第1レンズ群からの光束を透過又は反射するハーフミラーと、負の屈折力を持ち前記ハーフミラーから反射された光束を広げる第2レンズ群と、該第2レンズ群からの光束を集束しつつ該第2レンズ群を介して前記ハーフミラーに戻す凹面反射鏡と、正の屈折力を持ち前記ハーフミラーに戻されて前記ハーフミラーを透過した光束を集束して前記第2面上に前記第1面のパターンの縮小像を形成する第3レンズ群と、前記ハーフミラーと前記第2面との間に配置された絞りとを有する事を特徴とする反射屈折縮小投影光学系。
IPC (2件)：
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