特許
J-GLOBAL ID：200903088660198776
蒸着装置
発明者：
出願人/特許権者：
代理人 (1件)：
北村 修
公報種別：公開公報
出願番号（国際出願番号）：特願平4-153106
公開番号（公開出願番号）：特開平5-345974
出願日： 1992年06月12日
公開日（公表日）： 1993年12月27日
要約：
【要約】【目的】 蒸着材料の蒸発等により生じたガス状物が観測窓に付着するのを可及的に防止し、蒸着作業効率の低下を抑制して、その改善を図る。【構成】 容器1の周壁部に観測窓3が設けられた蒸着装置において、観測窓3よりも容器1の内方側箇所に、透明体4が、ガス状物が観測窓3側に移動するのを阻止し且つ観測窓3からその透明体4を通して容器1の内部を観測することを許容する閉状態と、観測窓3から透明体4を通さずに容器1の内部を観測することを許容する開状態とに切り換え自在に設けられている。
請求項（抜粋）：
ガス状物の飛散を阻止する容器(1)の周壁部に観測窓(3)が設けられた蒸着装置であって、前記観測窓(3)よりも前記容器(1)の内方側箇所に、透明体(4)が、ガス状物が前記観測窓(3)側に移動するのを阻止し且つ前記観測窓(3)からその透明体(4)を通して前記容器(1)の内部を観測することを許容する閉状態と、前記観測窓(3)から前記透明体(4)を通さずに前記容器(1)の内部を観測することを許容する開状態とに切り換え自在に設けられている蒸着装置。
IPC (4件)：
C23C 14/52
, C23C 16/44
, C23C 16/52
, F27D 21/02
