特許

J-GLOBAL ID：200903088660832211

X線分析方法

発明者： 甲斐 弘士 ,  林田 伸一 ,  中西 正紀
出願人/特許権者： 日本電子株式会社
代理人 (1件)： 井島 藤治 (外1名)
公報種別：公開公報
出願番号（国際出願番号）：特願平3-079859
公開番号（公開出願番号）：特開平5-240810
出願日： 1991年04月12日
公開日（公表日）： 1993年09月21日
要約：

【要約】【目的】測定回路系の揺らぎの影響を無くし、高い精度で定量分析を行うことができるX線分析方法を実現する【構成】試料3に電子ビームEBを照射することによって発生したX線は、検出器4によって検出され、信号処理回路5に供給されてX線エネルギーに対応したデジタル量に変換される。信号処理回路5では、このスペクトルの特定のエネルギー位置にゼロピーク発生装置8によってゼロピークPが加えられる。同じように、ゼロピークは、試料3として標準試料を用いた場合にもスペクトル中に加えられる。このゼロピークが加えられた信号は、マルチチャンネルアナライザ6によって波長(エネルギー)に応じた信号に変換され、コンピュータ7に供給される。コンピュータ7は、それぞれゼロピークを含んだ未知試料と標準試料の2種のスペクトルに基づいて信号強度の補正処理を行う。

請求項（抜粋）：

電子ビームを試料に照射し、試料から発生したX線をエネルギー分散型X線検出器で検出し、検出信号に基づいて試料の分析を行うようにしたX線分析方法において、未知試料に電子ビームを照射し、その結果該検出器から得られた検出信号の内、特定のエネルギー位置にゼロピークg1 (x)を発生させるステップ、標準試料に電子ビームを照射し、その結果該検出器から得られた検出信号の内、特定のエネルギー位置にゼロピークg2 (x)を発生させるステップ、ゼロピークg1 (x)の標準偏差をσ1 、ゼロピークg2 (x)の標準偏差をσ2 、更に、Δσ=σ2 -σ1 とした場合、次式によって補正因子Δを求めるステップ、Δ=(σ2 2 /σ1 )・Δσ標準試料のピークをgs2 とした場合、次式の処理を行って補正された標準試料のピークgs1 を求めるステップ、gs1 =gs2 (x)+Δ・gs2 ′′(x)補正された標準試料のピークgs1 からX線強度を求め、この求めたX線強度と未知試料のピークのX線強度とから未知試料に含まれる特定元素の濃度を求めるステップから成るX線分析方法。