ペースト塗布装置

発明者：
出願人/特許権者：
公報種別：公開公報
出願番号（国際出願番号）：特願平8-322227
公開番号（公開出願番号）：特開平10-137660
出願日： 1996年11月18日
公開日（公表日）： 1998年05月26日
要約：

【要約】【課題】 PZTエッジの端面電極と基板電極の接続を2ライン同時に行う。【解決手段】 2本目のシリンジ18を新たに追加をし、従来のシリンジ8と逆の向きに設置する。1つのPZTアクチュエータ17の両側の端面電極と基板電極を接続させる銀ペースト塗布が可能となる構成とする。2本のシリンジを精密に駆動できるようにするために、Z軸ステージ7に支持されているシリンジ固定ブラケット6上にシリンジ用Y軸ステージ19を設置し、新たな専用のシリンジホルダー20でシリンジと斜めニードル固定用ブラケット9を固定してある。追加シリンジ18も同様にシリンジ用Y軸ステージ21とシリンジホルダー22で固定される。

請求項（抜粋）：

高精度位置決め駆動が可能なステージで構成されたワーク支持機構と、Z軸移動機構に支持され、かつ、角度を自由に設置できるブラケットで支持されたニードル付帯シリンジ(ディスペンサー)とからなり、ワーク位置検出機構にCCDカメラによる画像処理を用いた、PZT方式インクジェットヘッドの電極導通及び電極形成に必要な精密塗布を可能にしたペースト塗布装置において、前記ワーク支持機構が精密位置決め可能な塗布送り用X軸ステージと原点復帰用の粗動Y軸ステージの2軸で構成され、前記ニードル付帯シリンジを2本支持できる構造をもつZ軸駆動機構に各シリンジを精密に駆動できるニードル付帯シリンジ位置決め駆動用Y軸ステージを2軸構成し、かつ、2軸独立制御が可能な構造をもつことを特徴とするペースト塗布装置。

IPC (2件)：

B05C 11/00 , B05C 5/00 101

FI (2件)：

B05C 11/00 , B05C 5/00 101

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