測定装置

発明者： ,
出願人/特許権者： ,
代理人 (1件)：松井伸一
公報種別：公開公報
出願番号（国際出願番号）：特願2000-313024
公開番号（公開出願番号）：特開2002-122477
出願日： 2000年10月13日
公開日（公表日）： 2002年04月26日
要約：

【要約】【目的】固体等のLD,LBが大きい試料であっても確実にCDを測定することのできるCD測定装置を提供すること【構成】光源1から出射される光の光路上に分光器2,偏光子3,偏光変調器4,試料を回転可能・反転可能に保持する試料保持装置5,検光子6,検出器7を配置し、その検出器7の出力を信号処理装置8に与える。検出器からは、偏光変調器の変調周波数と2倍の周波数成分が出力される。検光子を光路上に配置した状態で前記試料を回転させ、基本変調周波数成分の最大位置から45度回転させ、試料を反転させ、検光子を前記光路外に配置した状態で、試料の表面と裏面から光を照射した時にそれぞれ得られた基本変調周波数に相当する周波数成分を加えて2で割ることにより真のCD値を算出する。

請求項（抜粋）：

光源から出射される光の光路上に、単色光を出射する分光器と、その単色光を直線偏光させる偏光子と、その偏光子を透過した光の偏光状態を所定の基本変調周波数で、右回りの円偏光,左回りの円偏光に交番的に変化させると同時に2倍の基本変調周波数で垂直・水平の直線偏光に交番的に変化させる偏光変調器と、その偏光変調器から得られた光が入射されるように試料を保持する試料保持装置と、その試料保持装置を通過した光が通過する検光子を通過した光の強度を検出する検出器と、その検出器の出力に基づいて信号処理する信号処理部を備えた測定装置であって、前記検光子は、前記光路上と光路外に移動可能にし、前記試料保持装置は、前記試料を回転可能に保持するとともに、反転して前記試料の表面側と裏面側のそれぞれから光を入射可能とし、前記信号処理部は、前記検出器の出力信号のうち前記偏光変調器における変調周波数に相当する周波数成分及びその変調周波数の2倍の周波数成分に基づいて信号処理するもので、前記検光子を光路上に配置した状態で前記試料を回転させ、基本変調周波数成分が最大位置となる角度位置を求め、前記角度位置から前記試料を45度回転させた位置で、前記試料を反転させ、前記検光子を前記光路外に配置した状態で、前記試料の表面から光を照射した時に得られた前記変調周波数に相当する周波数成分と、前記試料の裏面から光を照射した時に得られた前記変調周波数に相当する周波数成分を得、それらを加えて2で割ることにより真のCD値を算出する測定装置。

IPC (3件)：

G01J 4/04 , G01N 21/01 , G01N 21/19

FI (3件)：

G01J 4/04 Z , G01N 21/01 B , G01N 21/19

Fターム (16件)：

2G059AA02 , 2G059BB10 , 2G059DD13 , 2G059EE05 , 2G059EE12 , 2G059GG04 , 2G059HH02 , 2G059HH03 , 2G059JJ05 , 2G059JJ06 , 2G059JJ11 , 2G059JJ18 , 2G059JJ19 , 2G059KK02 , 2G059MM01 , 2G059MM12

引用特許：

出願人引用 (3件)

測定装置
公報種別：公開公報出願番号：特願2000-161288 出願人：科学技術振興事業団, 日本分光株式会社
測定装置
公報種別：公開公報出願番号：特願2000-128667 出願人：科学技術振興事業団, 日本分光株式会社
試料保持装置
公報種別：公開公報出願番号：特願2000-128668 出願人：科学技術振興事業団, 日本分光株式会社

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