特許

J-GLOBAL ID：200903088665077748

ATRマッピング測定装置

発明者： 鈴木 康志 ,  土渕 毅
出願人/特許権者： 株式会社島津製作所
代理人 (1件)： 西岡 義明
公報種別：公開公報
出願番号（国際出願番号）：特願平11-271732
公開番号（公開出願番号）：特開2001-091452
出願日： 1999年09月27日
公開日（公表日）： 2001年04月06日
要約：

【要約】【課題】 測定試料の材質(硬軟の程度)や表面の凹凸に影響されずに、一定の圧力で良好なATRスペクトルが測定できるATRマッピング測定装置を提供する。【解決手段】 試料SをX・Y・Zステージ8にセットし、モータZ11で上昇させ、試料SがATRプリズム5に接触し、さらに密着すると、ATRプリズム5を保持している基体21が上部の圧力センサ20を動作させる。その信号が制御・測定装置9に入力され、所定の圧力値になれば、解放機構10のクラッチを解放し、X・Y・Zステージ8の上下動を停止させる。これにより、試料Sに一定の圧力がかかった状態でスペクトル測定をすることができる。

請求項（抜粋）：

試料の表面に対して凸形状を有するプリズムと、前記試料を保持するとともに少なくとも2方向の移動が可能であって、一方のZ方向移動により試料とプリズムとの密着及び隔離を行い他方のX-Y方向移動により試料とプリズムとの密着位置の変更を行う保持移動機構と、前記プリズムに密着された試料の全反射光を測定する光学装置とからなるATRマッピング測定装置において、前記プリズムに試料が密着する圧力を検知する圧力センサと、この圧力センサの出力が所定値となったとき、前記保持移動機構のZ方向駆動軸に駆動力を解放する解放機構とを備えることを特徴とするATRマッピング測定装置。

IPC (2件)：

G01N 21/27 ,  G01N 21/01

FI (2件)：

G01N 21/27 C ,  G01N 21/01 B

Fターム (7件)：

2G059AA01 ,  2G059EE02 ,  2G059EE04 ,  2G059FF03 ,  2G059HH01 ,  2G059JJ12 ,  2G059JJ14