特許
J-GLOBAL ID：200903088665826295
基板位置補正装置
発明者：
出願人/特許権者：
代理人 (1件)：
市村 健夫
公報種別：公開公報
出願番号（国際出願番号）：特願平4-195851
公開番号（公開出願番号）：特開平6-020919
出願日： 1992年07月01日
公開日（公表日）： 1994年01月28日
要約：
【要約】【目的】 レチクル等の搬送時の位置ズレをステージ受け渡し前に安全かつ確実に補正する。【構成】 位置ずれ検出手段4で、基板搬送部材上に保持された基板1の位置と前記基板搬送部材上に定めた基板1の適正保持位置との位置ずれ量を検出する。基板1が位置決めステージSに受け渡される前に、ステージ制御手段Cにより、初期位置から前記位置ずれ量に等しい移動量だけ位置決めステージSを移動する。この位置で基板1が位置決めステージSに受け渡された後、位置決めステージSを前記初期位置へ戻す。
請求項（抜粋）：
基板搬送部材上に保持された基板の位置と前記基板搬送部材上に定めた前記基板の適正保持位置との位置ずれ量を検出する位置ずれ検出手段と、前記基板が位置決めステージに受け渡される前に、初期位置から前記位置ずれ量に等しい移動量だけ前記位置決めステージを移動し、この位置で前記基板が前記位置決めステージに受け渡された後、前記位置決めステージを前記初期位置へ戻すステージ制御手段と、を有することを特徴とする基板位置補正装置。
IPC (5件)：
H01L 21/027
, B23Q 16/12
, B65H 9/00
, H01L 21/68
, B65H 7/08
