特許

J-GLOBAL ID：200903088669564945

排気ガス処理方法および処理装置

発明者： 加藤 利明
出願人/特許権者： 樫山工業株式会社
代理人 (1件)： 好宮 幹夫
公報種別：公開公報
出願番号（国際出願番号）：特願平10-236589
公開番号（公開出願番号）：特開2000-058464
出願日： 1998年08月07日
公開日（公表日）： 2000年02月25日
要約：

【要約】【課題】 ランニングコストは安いが除害効率が低い湿式の排気ガス処理装置を改良し、除害効率が高く、ランニングコストも安く、しかも大量の希釈用空気の消費を抑えて装置を小型化し、設備費の削減を可能とする排気ガス処理方法と処理装置を提供する。【解決手段】 プロセスより排出される排気ガス中に含まれる有害ガスを吸収塔を用いて吸収および/または分解する排気ガスの処理方法および処理装置において、該吸収塔出口から排出される処理後の排気ガスの一部を吸収塔の入口側に戻すことを特徴とする排気ガスの処理方法および処理装置。

請求項（抜粋）：

プロセスより排出される排気ガス中に含まれる有害ガスを吸収塔を用いて吸収および/または分解する排気ガスの処理方法において、該吸収塔出口から排出される処理後の排気ガスの一部を吸収塔の入口側に戻すことを特徴とする排気ガス処理方法。

IPC (4件)：

H01L 21/205 ,  B01D 53/34 ,  B01D 53/77 ,  B01D 53/81

FI (4件)：

H01L 21/205 ,  B01D 53/34 C ,  B01D 53/34 A ,  B01D 53/34 Z

Fターム (12件)：

4D002AA26 ,  4D002AC10 ,  4D002BA02 ,  4D002DA41 ,  4D002DA51 ,  4D002DA70 ,  4D002EA02 ,  4D002EA13 ,  4D002EA20 ,  5F045AC01 ,  5F045EG07 ,  5F045EG08