特許
J-GLOBAL ID：200903088672002400
電子顕微鏡
発明者：
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出願人/特許権者：
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代理人 (1件)：
小川 勝男
公報種別：公開公報
出願番号（国際出願番号）：特願平10-022951
公開番号（公開出願番号）：特開平11-224639
出願日： 1998年02月04日
公開日（公表日）： 1999年08月17日
要約：
【要約】【課題】本発明の目的は、試料中に含まれる元素が微量であっても、ピークが得られればその強度に関係なく元素分布像が得られる電子顕微鏡を提供することにある。【解決手段】上記目的を達成するべく、電子源から放出された電子線を試料上に走査し、透過した電子線をエネルギー分散して特定のエネルギーを持つ電子を検出し、エネルギー損失スペクトルを導出する電子顕微鏡において、前記エネルギー損失スペクトル中の任意の個所で発生するエネルギー損失ピーク、或いは特定エネルギー損失ピークの発生を検出する検出器と、該検出器によって得られる検出信号に基づいて、元素分布像を表示する表示装置を備えた。
請求項（抜粋）：
電子源から放出された電子線を試料上に走査し、透過した電子線をエネルギー分散して特定のエネルギーを持つ電子を検出し、エネルギー損失スペクトルを導出する電子顕微鏡において、前記エネルギー損失スペクトル中の任意の個所で発生するエネルギー損失ピーク、或いは特定エネルギー損失ピークの発生を検出する検出器と、該検出器によって得られる検出信号に基づいて、元素分布像を表示する表示装置を備えたことを特徴とする電子顕微鏡。
IPC (2件)：
FI (2件)：
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