特許

J-GLOBAL ID：200903088672832675

積層体の製造方法

発明者： 北村 真 ,  蔦尾 友重 ,  湯浅 基和
出願人/特許権者： 積水化学工業株式会社
公報種別：公開公報
出願番号（国際出願番号）：特願平6-083076
公開番号（公開出願番号）：特開平7-292459
出願日： 1994年04月21日
公開日（公表日）： 1995年11月07日
要約：

【要約】【目的】 優れた撥水性と耐擦傷性を有すると共に、透明性に優れた積層体の製造方法を提供する。【構成】 金属酸化物とフッ素系樹脂の複合膜をスパッタリング法により基材上に設けた後、少なくとも一方の対向面に固体誘電体が配設された対向する金属電極間に該複合膜を配置し、フッ素系ガス0.1〜10体積%と残部が不活性ガスとからなる混合ガスの大気圧近傍の圧力下で、少なくとも一方の電極に高電圧を印加し発生した混合ガスのグロー放電プラズマを該複合膜に接触させて、複合膜表面をフッ素化する。

請求項（抜粋）：

金属酸化物とフッ素系樹脂の複合膜をスパッタリング法により基材上に設けた後、少なくとも一方の対向面に固体誘電体が配設された対向する金属電極間に該複合膜を配置し、フッ素系ガス0.1〜10体積%と残部が不活性ガスとからなる混合ガスの大気圧近傍の圧力下で、少なくとも一方の電極に高電圧を印加し発生した混合ガスのグロー放電プラズマを該複合膜に接触させて、複合膜表面をフッ素化することを特徴とする積層体の製造方法。

IPC (4件)：

C23C 14/06 ,  B32B 27/30 ,  C08J 7/00 306 ,  C23C 16/30