特許
J-GLOBAL ID：200903088676617523
走査型プローブ顕微鏡用探針の作製方法、該作製方法によって作製された探針及び作製装置
発明者：
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出願人/特許権者：
代理人 (1件)：
渡辺 三彦
公報種別：公開公報
出願番号（国際出願番号）：特願2002-089394
公開番号（公開出願番号）：特開2003-287488
出願日： 2002年03月27日
公開日（公表日）： 2003年10月10日
要約：
【要約】【課題】 大気中で作製でき、作製時間が短く可能で、大量生産ができ、しかも、カーボンナノチューブの機械的、電気的特性に悪影響を与えることがない走査型プローブ顕微鏡用カーボンナノチューブ付き探針を得ること。【解決手段】 カーボンナノチューブ7を有機溶媒に分散させた溶液2が入っている容器3内において、先端が尖った金属又は半導体の探針5を電極4と少しの間隔を開けて対向させ、この探針5と電極4に電圧を与えることによって、探針5の先端にカーボンナノチューブ7を付着させて作製することを特徴とする走査型プローブ顕微鏡用探針の作製方法。
請求項（抜粋）：
カーボンナノチューブを有機溶媒に分散させた溶液の入った容器内において、先端が尖った金属又は半導体の探針を電極と少しの間隔を開けて対向させ、この探針と電極に電圧を与えることによって、探針の先端にカーボンナノチューブを付着させて作製することを特徴とする走査型プローブ顕微鏡用探針の作製方法。
IPC (3件)：
G01N 13/10
, G12B 21/02
, G01N 13/12
G01N 13/10 A
, G01N 13/12 D
, G12B 1/00 601 A
