特許

J-GLOBAL ID：200903088678450189

フィルム剥離装置

発明者： 渡辺 裕之
出願人/特許権者： イビデン株式会社
代理人 (1件)： 恩田 博宣
公報種別：公開公報
出願番号（国際出願番号）：特願平6-320652
公開番号（公開出願番号）：特開平8-181489
出願日： 1994年12月22日
公開日（公表日）： 1996年07月12日
要約：

【要約】【目的】 フィルムの剥離ミスを確実に検知し、未現像部や未エッチングの発生を未然に防止できるフィルム剥離装置を提供すること。【構成】 搬送手段を構成する入口コンベア部2,出口コンベア部3は、表層部にカバーフィルム6が貼着されている基板としての銅張積層板5を所定方向に搬送する。フィルム傷付け手段である振動ペン15は、搬送経路の途上にてカバーフィルム6の進行方向側端のエッジ6aの略中央部P1 を傷付ける。エア噴出手段であるエアノズル16は、傷20の付けられた部分に進行方向側からエアを噴射し、カバーフィルム6をめくり上げる。フィルム巻き取り手段17は、エア噴射によってめくれ上がった箇所を把持する。光電センサ18は、カバーフィルム6のエッジ6aの両方の端部P2 のめくれ上がりを検出しうる位置に設置されている。

請求項（抜粋）：

表層部にフィルムが貼着されている基板を所定方向に搬送する搬送手段と、前記搬送手段の搬送経路の途上に設けられるとともに、前記フィルムの進行方向側のエッジの略中央部を傷付けることによって当該部分の下に隙間を形成するフィルム傷付け手段と、傷付けられた部分に対して進行方向側からエアを噴射することによって、前記フィルムのエッジをめくり上げるエア噴射手段と、エア噴射によってめくれ上がったエッジを把持し、前記フィルムを巻き取るフィルム巻き取り手段と、前記フィルムのエッジがめくれ上がっているか否かを検知するセンサとを備えるフィルム剥離装置において、前記センサが、少なくとも前記エッジの両方の端部のめくれ上がりを検出しうる位置に設置されているフィルム剥離装置。