特許

J-GLOBAL ID：200903088682182369

波面収差の測定装置及び測定方法

発明者： 有賀 進 ,  小林 裕忠
出願人/特許権者： オリンパス光学工業株式会社
代理人 (1件)： 奈良 武
公報種別：公開公報
出願番号（国際出願番号）：特願平9-281810
公開番号（公開出願番号）：特開平11-118613
出願日： 1997年10月15日
公開日（公表日）： 1999年04月30日
要約：

【要約】【課題】 ツェルニケ多項式の係数から簡単な演算で高次波面収差の平均二乗誤差(RMS)を計算する。【解決手段】 波面収差を測定し、この波面収差をツェルニケ多項式に展開して低次収差、アス、コマ及び球面収差を算出し、算出した低次収差、アス、コマ及び球面収差を上記波面収差から差し引いて高次波面収差とし、その平均二乗誤差を求めることを含み、上記波面収差の平均二乗誤差から、低次収差の平均二乗誤差と、アスの大きさの1/(2√6)倍と、コマの大きさの1/(3√8)倍と、球面収差の大きさの1/(6√5)倍とを差し引くことにより高次波面収差の平均二乗誤差を求める。ツェルニケ係数を用いた簡単な計算を行い、且つ全測定ポイントについて行う計算が一回で良いため、簡単に算出することができる。

請求項（抜粋）：

全波面収差Wを入力する入力手段と、入力された全波面収差Wを記憶する第1の記憶手段と、この第1の記憶手段から読み出した上記全波面収差Wの平均二乗誤差を演算する第1の演算手段と、この第1の演算手段の演算値を記憶する第2の記憶手段と、上記第1の記憶手段から読み出した上記全波面収差Wに基づくツェルニケ多項式を展開して低次収差、非点収差、コマ収差及び球面収差の大きさを算出し、この値をそれぞれ1倍、1/(2√6)倍、1/(3√8)倍及び1/(6√5)倍して、上記各収差の平均二乗誤差を演算する第2の演算手段と、この第2の演算手段の演算値を記憶する第3の記憶手段と、上記第2の記憶手段から読み出した全波面収差Wの平均二乗誤差から、上記第3の記憶手段から読み出した低次収差、非点収差、コマ収差及び球面収差の各平均二乗誤差を差し引いて、高次波面収差の平均二乗誤差を演算する第3の演算手段と、この第3の演算手段の演算値を出力する出力手段と、を備えていることを特徴とする波面収差の測定装置。