特許
J-GLOBAL ID:200903088687722949
感光性樹脂組成物、スペーサーおよび液晶表示素子
発明者:
,
出願人/特許権者:
代理人 (1件):
高木 千嘉 (外2名)
公報種別:公開公報
出願番号(国際出願番号):特願2001-064289
公開番号(公開出願番号):特開2001-324809
出願日: 2001年03月08日
公開日(公表日): 2001年11月22日
要約:
【要約】【課題】フォトリソグラフィーにより液晶表示素子用スペーサーを形成する際の新規な感光性樹脂組成物を提供する。詳しくは従来特性を兼備し、高感度で、現像残渣(スカム)のない優れた現像性、耐アルカリ性、耐水性を備えたスペーサーの形成材料として好適なネガ型の感光性樹脂組成物を提供し、さらに該樹脂組成物で形成されるスペーサーおよび液晶表示素子を提供する。【解決手段】 アルカリ可溶性樹脂[A]、不飽和二重結合を少なくとも1つ有する化合物[B]、ベンゾフェノン構造を有する有機過酸化物光重合開始剤[C]および4,4′-ビス(ジアルキルアミノ)ベンゾフェノン構造を有する光増感剤[D]を含有し、必要によりエポキシ基を有するアルカリ不溶性ビニル共重合体[AIS]を含有する感光性樹脂組成物、およびこの組成物で形成されたスペーサー、このスペーサーを具備する液晶表示素子。
請求項(抜粋):
アルカリ可溶性樹脂[A]、エチレン性不飽和結合を有する化合物[B]、ベンゾフェノン構造を有する有機過酸化物光重合開始剤[C]および4,4′-ビス(ジアルキルアミノ)ベンゾフェノン構造を有する光増感剤[D]を含有することを特徴とする感光性樹脂組成物。
IPC (8件):
G03F 7/033
, C08F 2/44
, C08F 2/50
, C08F265/02
, C08F265/06
, G03F 7/027 502
, G03F 7/031
, G03F 7/038 503
FI (8件):
G03F 7/033
, C08F 2/44 C
, C08F 2/50
, C08F265/02
, C08F265/06
, G03F 7/027 502
, G03F 7/031
, G03F 7/038 503
Fターム (55件):
2H025AA00
, 2H025AA01
, 2H025AA04
, 2H025AA08
, 2H025AB17
, 2H025AC01
, 2H025AD01
, 2H025BC14
, 2H025BC32
, 2H025BC42
, 2H025BD23
, 2H025CA03
, 2H025CA27
, 2H025CB13
, 2H025CB14
, 2H025CB43
, 2H025CB52
, 2H025FA03
, 2H025FA17
, 2H025FA29
, 4J011PA69
, 4J011PA70
, 4J011PB40
, 4J011PC02
, 4J011QA03
, 4J011QA12
, 4J011QA17
, 4J011RA03
, 4J011RA04
, 4J011RA15
, 4J011SA21
, 4J011SA25
, 4J011SA26
, 4J011SA28
, 4J011SA29
, 4J011UA01
, 4J011VA01
, 4J011VA02
, 4J011WA01
, 4J026AA43
, 4J026AA45
, 4J026AA53
, 4J026AC18
, 4J026BA28
, 4J026BB01
, 4J026BB03
, 4J026BB04
, 4J026DB05
, 4J026DB06
, 4J026DB13
, 4J026DB36
, 4J026FA02
, 4J026FA05
, 4J026GA06
, 4J026GA07
引用特許:
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