特許

J-GLOBAL ID：200903088688545862

プローブ

発明者： 岡本 秀孝 ,  石原 隆子
出願人/特許権者： 日本電信電話株式会社
代理人 (1件)： 山川 政樹
公報種別：公開公報
出願番号（国際出願番号）：特願平7-033422
公開番号（公開出願番号）：特開平8-226934
出願日： 1995年02月22日
公開日（公表日）： 1996年09月03日
要約：

【要約】【目的】 コンデンサが有効に作用し、インダクタンス成分を削減し、△Iノイズによる電圧変動を抑制する。【構成】 電源用探針3aとグランド用探針3bとの間に電源用パッド5およびグランド用パッド6に近接させてコンデンサ7を接続させることにより、電源系およびグランド系のインダクタンス成分を減少させ、高周波成分を除去させることによって△Iノイズを抑制する。

請求項（抜粋）：

半導体ウエハ上に形成された半導体デバイスの電源用パッドおよびグランド用パッドに触針させ、前記半導体デバイスにそれぞれ電位およびグランド電位を供給する電源用探針およびグランド用探針を備えたプローブにおいて、前記電源用探針とグランド用探針との間で前記電源用パッドおよびグランド用パッドに近接する先端部にコンデンサを接続したことを特徴とするプローブ。

IPC (3件)：

G01R 1/067 ,  G01R 1/073 ,  H01L 21/66

FI (3件)：

G01R 1/067 D ,  G01R 1/073 E ,  H01L 21/66 B