特許

J-GLOBAL ID：200903088696395837

端部検査装置

発明者： 大野 俊樹 ,  伊勢 博利 ,  豊田 正人 ,  米村 俊雄 ,  崎田 英文 ,  中島 末和 ,  松田 耕二
出願人/特許権者： 株式会社ルネサステクノロジ ,  株式会社ルネサスデバイスデザイン
代理人 (6件)： 深見 久郎 ,  森田 俊雄 ,  仲村 義平 ,  堀井 豊 ,  野田 久登 ,  酒井 將行
公報種別：公開公報
出願番号（国際出願番号）：特願2003-123885
公開番号（公開出願番号）：特開2004-325389
出願日： 2003年04月28日
公開日（公表日）： 2004年11月18日
要約：

【課題】端部検査装置の小型化および簡略化が可能であり、かつ被測定物の端部の材質の変化が欠陥として誤検出されにくい端部検査装置を提供する。【解決手段】本発明の端部検査装置10は、投光部7と受光部8と変位センサアンプ4とデータ処理装置5とを備えている。投光部7は、半導体ウエハ1の端部1aに対して光を投光する。受光部8は、半導体ウエハ1の端部1aで反射した正反射光を受光する。変位センサアンプ4およびデータ処理装置5は、受光部8が受光した正反射光の光量の分布の変化により、半導体ウエハ1の端部1aの変位量を演算する。【選択図】 図1

請求項（抜粋）：

被測定物の端部に対して光を投光する投光部と、 前記被測定物の端部で反射した正反射光を受光する受光部と、 前記受光部が受光した前記正反射光の光量の分布の変化により、前記被測定物の端部の変位量を演算する演算装置とを備える、端部検査装置。

IPC (2件)：

G01B11/00 ,  G01N21/89

FI (2件)：

G01B11/00 B ,  G01N21/89 Z

Fターム (24件)：

2F065AA02 ,  2F065BB03 ,  2F065CC19 ,  2F065DD02 ,  2F065GG06 ,  2F065GG07 ,  2F065JJ02 ,  2F065JJ05 ,  2F065JJ25 ,  2F065MM04 ,  2F065PP13 ,  2F065QQ07 ,  2F065QQ33 ,  2G051AA51 ,  2G051AB03 ,  2G051AB08 ,  2G051BA01 ,  2G051CA03 ,  2G051CA07 ,  2G051CB07 ,  2G051DA08 ,  2G051EA08 ,  2G051EA16 ,  2G051EB01