特許
J-GLOBAL ID：200903088701545265
ヘテロダイン干渉計
発明者：
,
出願人/特許権者：
代理人 (1件)：
高田 守 (外1名)
公報種別：公開公報
出願番号（国際出願番号）：特願平3-221378
公開番号（公開出願番号）：特開平5-060511
出願日： 1991年09月02日
公開日（公表日）： 1993年03月09日
要約：
【要約】【目的】 ヘテロダイン干渉計において、測定対象のビーム照射点が変わるときも、その照射点の表面状態によらず、所要レベルの光検出器出力の干渉信号(測定信号)を得て、計測精度を向上させたヘテロダイン干渉計を得ることを目的とする。【構成】 レーザ1からのビームを二分して一方のビームBの周波数をシフトさせて周波数が僅かに異なるビームを得る手段7と、上記二つのビームの一方を測定対象23に照射しその反射ビームと、他方のビームとを重ね合わせて光検出器9により干渉信号を得るヘテロダイン検出手段と、上記干渉信号のドップラー周波数成分を求める周波数分析手段25と、上記干渉信号の交流成分の振幅を検出し、その振幅が最大になる位置に光検出器を位置決めする手段とを備えるようにしたものである。
請求項（抜粋）：
レーザと、レーザからのビームを二分して一方のビームの周波数をシフトさせて周波数が僅かに異なるビームを得る手段と、上記二つのビームの内の一方を測定対象に照射しその反射ビームと、他方のビームとを重ね合わせて光検出器により干渉信号を得るヘテロダイン検出手段と、上記干渉信号のドップラー周波数成分を求める周波数分析手段と、上記干渉信号の交流成分の振幅を検出し、その振幅が最大になる位置に光検出器を位置決めする手段とを備えたことを特徴とするヘテロダイン干渉計。
IPC (2件)：
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