特許
J-GLOBAL ID：200903088705631905
フィルタ
発明者：
,
出願人/特許権者：
代理人 (1件)：
重野 剛
公報種別：公開公報
出願番号（国際出願番号）：特願平5-263385
公開番号（公開出願番号）：特開平7-116433
出願日： 1993年10月21日
公開日（公表日）： 1995年05月09日
要約：
【要約】【目的】 高温の腐食性雰囲気においても使用可能な高い耐熱性と耐食性を有し、しかも、圧力損失が小さく薄肉の除塵用フィルタを提供する。【構成】 SiC,Si3 N4 ,Al2 O3 ,Al2 O3 ・SiO2 又はCの繊維成形体の繊維表面に、SiC,Si3 N4 ,Al2 O3 又はCのCVDコーティング層を形成してなるフィルタ。繊維成形体は繊維の不織布状集合層からなる表面層と、繊維の織布層又はチョップドヤーンの集合層よりなる基層との積層構造。【効果】 1000°C以上でも使用可能な優れた耐熱性を備える。繊維成形体を基体とするため、薄肉でも十分な機械的強度を備え、空孔率が大きく、圧力損失が小さい。表面層は圧力損失の低減に作用し、基層は表面層を補強する。表面のCVD法による高純度で高耐食性、高耐熱性のコーティング層により、高温におけるHCl等の腐食性雰囲気においても十分に使用可能である。
請求項（抜粋）：
炭化珪素、窒化珪素、アルミナ、アルミナ・シリカ及び炭素よりなる群から選ばれる1種又は2種以上の繊維で構成される繊維成形体の該繊維表面に、炭化珪素、窒化珪素、アルミナ及び炭素よりなる群から選ばれる1種又は2種以上の気相蒸着法によるコーティング層を形成してなるフィルタであって、前記繊維成形体は、フィルタの表面側を構成する第1繊維層と、該第1繊維層の裏面側に設けられた第2繊維層とを備える積層体であって、該第1繊維層は繊維が不織布状に集合した層であり、かつ、第2繊維層は繊維の織布の層又はチョップドヤーンの集合層であることを特徴とするフィルタ。
IPC (3件)：
B01D 39/20
, B01D 39/14
, B01D 46/24
