特許
J-GLOBAL ID：200903088720294133
電子分光装置
発明者：
出願人/特許権者：
代理人 (1件)：
最上 健治
公報種別：公開公報
出願番号（国際出願番号）：特願2001-140818
公開番号（公開出願番号）：特開2002-340827
出願日： 2001年05月11日
公開日（公表日）： 2002年11月27日
要約：
【要約】【課題】 全体の分析を簡潔にすると共に分析に要する時間を大幅に短縮してマッピング分析を行えるようにした電子分光装置を提供する。【解決手段】 試料から放出される電子をエネルギー分光する電子分光器と、該分光器で分光された電子の強度を検出する複数の検出器と、該複数の検出器で得られた各検出実データをずれ補正加算して元素組成分析のための単一のスペクトルを得ると共に、同時に各検出器で得られた上記検出実データを単純に加算して加算スペクトルを得る手段と、前記単純加算スペクトルに基づいて試料の元素分布のマッピング分析を行う手段とを設けて電子分光装置を構成する。これにより元素組成分析のためのスペクトル分析と元素分布のマッピング分析との間に、別個に単純加算スペクトルを得る手順を設ける必要がなくなり、分析時間を短縮できる。
請求項（抜粋）：
試料表面に一次線を照射し、試料表面から二次的に放出された電子のエネルギー強度分析を行う電子分光装置において、試料から放出される電子をエネルギー分光する電子分光器と、該分光器で分光された電子の強度を検出する複数の検出器と、該複数の検出器で得られた各検出実データをずれ補正加算して元素組成分析のための単一のスペクトルを得ると共に、同時に各検出器で得られた上記検出実データを単純に加算して加算スペクトルを得る手段と、前記単純加算スペクトルに基づいて試料の元素分布のマッピング分析を行う手段とを備えていることを特徴とする電子分光装置。
Fターム (14件)：
2G001AA03
, 2G001BA09
, 2G001CA03
, 2G001DA02
, 2G001DA06
, 2G001EA04
, 2G001FA06
, 2G001GA01
, 2G001GA06
, 2G001GA13
, 2G001HA01
, 2G001JA06
, 2G001JA11
, 2G001JA13
