特許
J-GLOBAL ID：200903088723595444
クリーンルームの空調システムおよびクリーンルームの空調方法
発明者：
,
,
出願人/特許権者：
代理人 (3件)：
吉田 茂明
, 吉竹 英俊
, 有田 貴弘
公報種別：公開公報
出願番号（国際出願番号）：特願2002-360674
公開番号（公開出願番号）：特開2004-190972
出願日： 2002年12月12日
公開日（公表日）： 2004年07月08日
要約：
【課題】クリーンルームの空調システムのランニングコストの低減を図る。【解決手段】クリーンルーム内の基板処理装置の稼働数、および、クリーンルーム内への作業員の入室数が、空気調整装置を制御する空調コントローラにより取得される。取得された稼働数および入室数の双方が0であるときには(ステップS3にてNo)、温度および湿度の調整範囲が、通常範囲より厳密でない省電力範囲に設定され(ステップS8,S9)、クリーンルーム内の空気の循環回数が、通常回数よりも小となる最小必要回数に設定される(ステップS10)。これにより、空気状態の調整の必要性が少ないときに、空気調整装置を最大能力で動作させることがなくなり、ランニングコストの低減および省エネルギー化を図ることができる。【選択図】 図3
請求項（抜粋）：
クリーンルーム内の空気状態を調整する空気調整手段を有する、クリーンルームの空調システムであって、
前記クリーンルーム内に配置される処理装置の稼働/非稼働状態を示す稼働情報を取得する稼働情報取得手段と、
前記稼働情報に応じて、前記空気調整手段の調整動作を制御する制御手段と、を備えることを特徴とするクリーンルームの空調システム。
IPC (2件)：
FI (4件)：
F24F11/02 Z
, F24F11/02 S
, F24F11/02 103D
, F24F7/06 C
3L058BD01
, 3L058BE02
, 3L058BF01
, 3L058BG04
, 3L060AA03
, 3L060CC11
, 3L060CC19
, 3L060DD04
, 3L060DD05
, 3L060EE21
, 3L061BA05
