特許
J-GLOBAL ID:200903088726033030

マニホールド弁構造体

発明者:
出願人/特許権者:
代理人 (1件): 後藤 憲秋 (外1名)
公報種別:公開公報
出願番号(国際出願番号):特願平11-365395
公開番号(公開出願番号):特開2001-182849
出願日: 1999年12月22日
公開日(公表日): 2001年07月06日
要約:
【要約】【課題】 汎用性に優れるとともに、設置後において供給する副流体の数等を変更する場合にも簡単かつ迅速に対応でき、コスト的にも有利なマニホールド弁構造体を提供する。【解決手段】 第1流出入口22と第1弁開口23とを有する第1流体チャンバ21と、前記第1弁開口を介して連通され第1連通開口26を有する第1主流体チャンバ25と、前記第1弁開口を開閉する第1弁機構V1を備える第1弁ブロック20と、第2流出入口32と第2弁開口33とを有する第2流体チャンバ31と、前記第2弁開口を介して連通され第2連通開口36を有する第2主流体チャンバ35と、前記第2弁開口を開閉する第2弁機構V2を備える第2弁ブロック(30)とからなり、前記第1弁ブロックの第1連通開口と前記第2弁ブロックの第2連通開口とが互いに連通して連結配置されている。
請求項(抜粋):
第1流体のための第1流出入口(22)と第1弁開口(23)とを有する第1流体チャンバ(21)と、前記第1弁開口(23)を介して連通され主流体のための第1連通開口(26)を有する第1主流体チャンバ(25)と、前記第1弁開口(23)を開閉する第1弁機構(V1)とを備える第1弁ブロック(20)と、第2流体のための第2流出入口(32)と第2弁開口(33)とを有する第2流体チャンバ(31)と、前記第2弁開口(33)を介して連通され主流体のための第2連通開口(36)を有する第2主流体チャンバ(35)と、前記第2弁開口(33)を開閉する第2弁機構(V2)とを備える第2弁ブロック(30)とからなり、前記第1弁ブロックの第1主流体チャンバ(25)または第2弁ブロックの第2主流体チャンバ(35)の少なくとも一方に主流体流出入口(27)が形成されるとともに、前記第1弁ブロックの第1連通開口(26)と前記第2弁ブロックの第2連通開口(36)とが互いに連通して連結配置されていることを特徴とするマニホールド弁構造体(10)。
IPC (3件):
F16K 11/04 ,  F16K 27/00 ,  F16K 27/02
FI (3件):
F16K 11/04 A ,  F16K 27/00 B ,  F16K 27/02
Fターム (27件):
3H051AA01 ,  3H051BB02 ,  3H051BB04 ,  3H051CC01 ,  3H051CC14 ,  3H051CC15 ,  3H051FF02 ,  3H051FF12 ,  3H067AA01 ,  3H067AA32 ,  3H067BB08 ,  3H067CC33 ,  3H067CC35 ,  3H067DD07 ,  3H067DD14 ,  3H067DD23 ,  3H067EC07 ,  3H067EC21 ,  3H067EC22 ,  3H067EC23 ,  3H067EC25 ,  3H067FF09 ,  3H067FF11 ,  3H067GG13 ,  3H067GG26 ,  3H067GG27 ,  3H067GG28

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