レーザ加工方法およびレーザ加工装置

発明者： , , , ,
出願人/特許権者：
代理人 (1件)：志賀正武 (外3名)
公報種別：公開公報
出願番号（国際出願番号）：特願2002-064440
公開番号（公開出願番号）：特開2003-260581
出願日： 2002年03月08日
公開日（公表日）： 2003年09月16日
要約：

【要約】【課題】高開口数でレーザ光を集光することが可能で、被加工物内部の異なる深さにおいて、一定の開口数でレーザ光を集光することが可能なレーザ加工方法およびレーザ加工装置を提供する。【解決手段】レーザ光源と、レーザ光源からのレーザ光を集光する対物レンズ11と、対物レンズ11で集光されたレーザ光を集光する、固体浸漬レンズレボルバー16に設置された形状、大きさ、屈折率の異なる固体浸漬レンズ12、13、14、15とを備え、固体浸漬レンズ12、13、14、15が固体浸漬レンズレボルバー16によって交換可能となっているレーザ加工装置。固体浸漬レンズ12、13、14、15の屈折率を1.43〜2.03、直径を0.25〜40mmとする。

請求項（抜粋）：

透明材料からなる被加工物内部に対物レンズ、固体浸漬レンズを介してレーザ光を集光し、高屈折率領域を形成するレーザ加工方法において、前記固体浸漬レンズの形状、大きさ、屈折率を変化させて、前記被加工物内部の異なる深さに、一定の開口数で前記レーザ光を集光することを特徴とするレーザ加工方法。

IPC (3件)：

B23K 26/04 , B23K 26/06 , G02B 3/00

FI (3件)：

B23K 26/04 C , B23K 26/06 Z , G02B 3/00 Z

Fターム (7件)：

4E068AH00 , 4E068CA03 , 4E068CA11 , 4E068CD14 , 4E068DA00 , 4E068DB00 , 4E068DB13

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