特許

J-GLOBAL ID：200903088733821965

スパッタカソード

発明者： 諏訪 秀則 ,  佐藤 重光
出願人/特許権者： 日本真空技術株式会社
公報種別：公開公報
出願番号（国際出願番号）：特願平3-355956
公開番号（公開出願番号）：特開平6-093441
出願日： 1991年12月20日
公開日（公表日）： 1994年04月05日
要約：

【要約】【目的】この発明の目的は、シールドギャップ内でのアーク放電を防止して、良好な膜を得ることの可能なスパッタカソードを提供することである。【構成】この発明は、カソードケースの上部開口を覆うように取り付けられたバッキングプレートの上面にターゲットを取り付け、バッキングプレートの背部のカソードケース内に磁石を配置し、アースシールドをカソードケースの外周およびバッキングプレートの端面と隙間をもちながらこれらの廻りに配設したスパッタカソードにおいて、上記ターゲットの平面積を上記バッキングプレートの平面積より大きくして、上記ターゲットの周縁部が上記バッキングプレートの端部よりはみ出して取り付け、更に、上記アースシールドの先端部を上記はみ出したターゲット周縁部の背後にこれと隙間を持つように配設したことを特徴とするものである。

請求項（抜粋）：

カソードケースの上部開口を覆うように取り付けられたバッキングプレートの上面にターゲットを取り付け、バッキングプレートの背部のカソードケース内に磁石を配置し、アースシールドをカソードケースの外周およびバッキングプレートの端面と隙間をもちながらこれらの廻りに配設したスパッタカソードにおいて、上記ターゲットの平面積を上記バッキングプレートの平面積より大きくして、上記ターゲットの周縁部が上記バッキングプレートの端部よりはみ出して取り付け、更に、上記アースシールドの先端部を上記はみ出したターゲットの周縁部の背後にこれと隙間を持つように配設したことを特徴とするスパッタカソード。

IPC (2件)：

C23C 14/34 ,  C23C 14/35

引用特許：

審査官引用 (2件)

• 特公昭54-032638
  
• 特開昭59-217324