特許
J-GLOBAL ID：200903088736618826
単結晶成長装置
発明者：
出願人/特許権者：
代理人 (1件)：
井内 龍二
公報種別：公開公報
出願番号（国際出願番号）：特願平8-015048
公開番号（公開出願番号）：特開平9-208382
出願日： 1996年01月31日
公開日（公表日）： 1997年08月12日
要約：
【要約】【課題】 引き上げ軸がワイヤにより構成されていると、引き上げ時に単結晶の揺れが生じ易く、またこの揺れの抑制が困難に成り易い。ワイヤは巻き取られるためワイヤの劣化が避けられず、ワイヤの摩耗による発塵が引き上げられる単結晶に悪影響を及ぼして製品歩留まりを低下させる可能性がある。また、ワイヤが太くなるとドラムでの巻き癖が顕著になってワイヤの鉛直性が阻害される場合が生じる。【解決手段】 単結晶を引き上げる引き上げ棒14aと種結晶保持治具34Aとの間にワイヤ14bを介装する。
請求項（抜粋）：
単結晶を引き上げる引き上げ棒と種結晶保持治具との間にワイヤが介装されていることを特徴とする単結晶成長装置。
IPC (2件)：
FI (2件)：
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