絶縁性フィルム

発明者： , , , ,
出願人/特許権者：
代理人 (1件)：岸本瑛之助 (外3名)
公報種別：公開公報
出願番号（国際出願番号）：特願平5-331328
公開番号（公開出願番号）：特開平7-186332
出願日： 1993年12月27日
公開日（公表日）： 1995年07月25日
要約：

【要約】【目的】フィルム膜厚を薄くしても、電気特性に優れた絶縁性フィルムを提供する。【構成】少なくとも片面にセラミック薄膜を有するプラスチックフィルムからなる、絶縁性フィルム。セラミック薄膜としては、Al2 O3 、ZrO2 -SiO2 等が挙げられる。セラミック薄膜の作製法としては、各種真空蒸着法、スパッタ法、CVD法等が用いられる。本発明のフィルムは、電気特性及び耐熱性が良好で、且つ走行性、耐摩耗性に優れ、フィルムの厚みに関係なくハンドリング特性が良好である。

請求項（抜粋）：