ディスクの平坦度測定方法及び測定装置

発明者：
出願人/特許権者：
代理人 (1件)：高橋光男
公報種別：公開公報
出願番号（国際出願番号）：特願平5-245956
公開番号（公開出願番号）：特開平7-071954
出願日： 1993年09月06日
公開日（公表日）： 1995年03月17日
要約：

【要約】【目的】ディスクを回転手段により自転させつつ、距離センサによりディスクの被測定面までの距離を回転位相角に対応させて計測することにより、ディスクの平坦度を測定するに際して、回転手段の部品として安価なものが使用できるようにするとともに、距離センサーの位置ずれ等の影響を受けずに高精度な測定を可能とする。【構成】基準ディスクについての各回転位相角に対する被測定面までの距離を基準値として計測し記録した後、同一の回転手段と距離センサを使用して、被測定ディスクについての各回転位相角に対する被測定面までの距離を計測値として計測するとともに、この計測値から対応する回転位相角についての前記基準値を差引いて補正値を演算し、この補正値を被測定ディスクの平坦度を表すデータとして出力する。

請求項（抜粋）：

ディスクを所定の回転手段により一定位置で自転させつつ、基準位置に固定した距離センサによりディスクの被測定面までの距離をディスクの回転位相角に対応させて計測することにより、ディスクの平坦度を測定するディスクの平坦度測定方法であって、前記回転手段と距離センサを使用して、平坦な基準ディスクについての各回転位相角に対する基準位置から被測定面までの距離を基準値として計測するとともに、この基準値を記憶しておく基準値測定工程と、前記回転手段と距離センサを使用して、被測定ディスクについての各回転位相角に対する基準位置から被測定面までの距離を計測値として計測するとともに、この計測値から対応する回転位相角についての前記基準値を差引いて補正値を演算し、この補正値を被測定ディスクの平坦度を表すデータとして出力する本測定工程と、よりなることを特徴とするディスクの平坦度測定方法。

IPC (2件)：

G01B 21/30 101 , G01B 5/28 101

引用特許：

審査官引用 (4件)

特開平4-244908
特開昭61-219815
特開平4-244908

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